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高純度氣體用不鏽鋼管

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        除了惰性气体,如氮气和氩气,许多被称为特殊气体的气体,也用于制造用于高纯度气体的不鏽鋼精拉管的半导体。在半导体或液晶显示器制造领域,器件集成度近年来有所提高。在VLSI器件的制造中,1微米或更小的精细图案是必要的。在这种制造过程中,细尘埃或极少量气体杂质沉积或吸附布线图案,导致电路故障。因此,必须与高纯度的气体和载气反应,即这些气体中只能存在少量的颗粒和气体杂质。为此,采用不锈钢管或含有高纯度气体的不鏽鋼毛細管这种气体,需要高纯度,其内表面作为污染物的排放物,只有极少量的颗粒和气体。特殊气体的例子包括腐蚀性气体如氯气、氯化氢和溴化氢,以及化学不稳定气体如青贮。前者要求气体的耐腐蚀性,后者要求气体的非催化性能。

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