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半導體用不鏽鋼管

半導體用不鏽鋼管

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       半导体用不鏽鋼小口徑管在半导体制造过程中的应用,无论是腐蚀性气体、惰性气体还是各种高纯气体,都是由高纯钢管输送的。该管材为SUS(TP)316L(18Cr-10Ni-2Mo)不锈钢管。由于其良好的焊接性和耐腐蚀性,它不仅可用于管道,而且可用于接头和压力调节器。半導體用不鏽鋼管规格为6.35-12.7mm和13.8-165.2mm。当半导体集成度为256kbit-DRAM时,主要采用光亮退火(BA)钢管。将集成度提高到1Mbit-DRAM后,采用内表面电解抛光光亮退火钢管(EP)。BA钢管内表面粗糙度一般小于3_0微米,EP钢管内表面粗糙度一般小于0_5微米。然而,当半导体集成度大于4Mbit-DRAM时,仅仅测量粗糙度是不够的。也就是说,电解磨削后,钢管内表面夹杂物的可能性最小,焊接接头时焊接熔化金属所排放的锰等有害气体最小。

  提高高纯钢管性能的措施伴随着半导体集成度的提高,对半導體用不鏽鋼管的性能提出了新的要求。最重要的是提高钢管和焊接区的纯度。

    

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